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  • 雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM系列精度達±1 μm,分辨率達5 nm,周期誤差為±30 nm, 雙向可重復IN-TRAC光學參考零位 。
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雷尼紹SiGNUM RELM高精度直線光柵

?  堅固的20 μm柵距因鋼柵尺

?  精度達±1 μm,分辨率達5 nm,周期誤差為±30 nm

?  雙向可重復IN-TRAC光學參考零位 


雷尼紹直線光柵RELM高精度直線光柵重新定義了光柵的性能,具有高速、可靠、非接觸的性能,它還具有IN-TRAC內置刻劃光學零位等先進功能,它的系統由SR讀數頭、Si細分盒和RELM 20 μm柵距的因鋼柵尺組成。雷尼紹高精度直線光柵RELM極為堅固,其優異的性能可與價格昂貴、柵距更小的光柵系統媲美。它的精度達±1 μm,膨脹系數 ~ 0.6 μm/m/°C(0 °C至30 °C),分辨率 達5 nm,能夠滿足苛刻的精密運動的需 求。SR讀數頭工作速度達12.5 m/s ,它采用了雷尼紹獨特的光學濾波裝置,具有極佳的抗污垢、灰塵和劃傷的能 力。參考零位的位置可設在柵尺的中 心(RELM)或距柵尺端點20 mm處  (RELE)。 


 為何使用RELM? 

? IN-TRAC內置刻劃光學零位具有雙 向、可重復功能,甚至可以實現最高速度(12.5 m/s)。 

? 動態信號控制確保了電子細分誤差小于±30 nm。如今,20 um柵距的光柵系統也能實現以前只有小柵距光柵才能達到的性能水準,另外它還具有抗灰塵和安裝簡便的特點。

?  RELM柵尺由一種堅固、低膨脹的穩定 合金 — 因鋼制成,操作和安裝都很方 便。

?  高精度(達±1 um)和低熱膨脹系數(<1.4 μm/m/°C)使RELM因鋼柵尺 適用于最精密的運動應用。

?  安裝方便??墒褂脵C械夾具或背面自帶的特殊配方不干膠直接安裝在底 層。 

? 內置的安裝指示燈和功能全面的 SiGNUM軟件使安裝快捷簡單,從而實現最佳性能,并可方便地對系統進行診斷。 

?  雙光學限位可在柵尺上提供行程終點 指示。 




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